表11-9给出了各种类型及各个等级的氩气中各组分的最大含量,除另有说明者外,单位均为ppm(体积/体积)。表中Ⅰ型为气态氩,Ⅱ型为液氩。空白栏表示不作限制。
表11-9氩气的产品等级
组分及特性 |
Ⅰ型——气态的 |
Ⅱ型——液态的 |
|||
等级 |
|||||
A |
B |
C |
D |
E |
|
氩,最小百分含量,%(体积/体积) |
99.985 |
99.996 |
99.997 |
99.998 |
99.999 |
水 |
23.0 |
14.3 |
10.5 |
3.5 |
1.5 |
露点,℃(℉) |
-53.9(-65) |
-57.8(-72) |
-60.0(-76) |
-67.8(-90) |
-73.3(-100) |
氧 |
50 |
7 |
5 |
2 |
1 |
氮 |
50 |
15 |
20 |
10 |
5 |
氢 |
50 |
1 |
1 |
1 |
1 |
总碳氢化合物〔换算成甲烷) |
|
5 |
3 |
0.5 |
0.5 |
二氧化碳 |
|
0.5 |
0.5 |
||
永久性颗粒 |
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Ⅱ型可以要求过滤 |
为减少液氩中永久性顿粒的数量,可以将液氩在即将进入运输贮器之前进行过滤,过滤采用一个由10~40μm的金属筛网制造的过滤器(安装在输送管线中)。