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氩是在空气分离设备中将液化后的空气进行精馏而制得的。在精馏塔的下塔,氩富集于下塔上部的液氮及下部的液空中。该液氮和液空被送入上塔再进行分馏,在上塔中部得到粗氩。粗氩被抽出后经进一步加工得到高纯度的氩。
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